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高純氮

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高純氮

高純氮

  • 所屬分類:高純氣體
  • 瀏覽次數:
  • 發布日期:2021-07-23 16:15:15
  • 產品概述
  • 性能特點
  • 技術參數

  高純氮在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣,化學氣相淀積時的載氣,液體擴散源的攜帶氣,在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術中,液氫加注系統必須先用高純氮置換,再用高純氦置換。

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