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高純氣體高純氫主要作用于核研究、氘核加速器的轟擊粒子、示蹤劑、可以做氣相色譜氫焰化驗原料。還可用于大規模集成電路的制造，提供還原氣氛，作為配制SiH4/H2、PH3/H2、B2H6/H2等混合氣的底氣。
